中心动态
Industry Dynamics

上海硅知识产权交易中心有限公司(SSIPEX)是工业和信息化部、上海市为促进我国集成电路设计业成长,提升电子信息产业知识产权水平,培育物联网等新兴产业发展而建立的行业性公共服务机构之一。

Shanghai Silicon Intellectual Property Exchange Co., Ltd. (SSIPEX)was founded by the Ministry of Industry and Information, Shanghai Municipal Commission of Economy and Informatization. It is one of the industrial public service organizations to improve China's IC design industry, to boost intellectual property level of electronic information industry and to foster new industry such as internet of things

光MOS驱动芯片项目技术攻关
        根据汽车继电器向半导体器件转移的趋势,中心与上海大学微电子研发中心合作开发光MOS驱动芯片项目。目前中心正与上海大学微电子研发中心、无锡中微晶圆、新傲合作开发项目中新型晶圆,以解决光敏二极管的发电问题。经多次协商,最先提出可行性方案是采用SIMOX+键合技术,在重掺杂上做轻掺杂方案并具体讨论了两种方案的技术细节。但在具体执行中发现晶圆边缘环状凸起不能去除和晶圆表面粗糙度高虽经等离子处理(应该非常有效)仍无法(SOI)粘合问题。面对问题,合作方决定开展一种新的工艺方案:即中微晶圆公司在原来的硅膜厚度0.5微米的SOI材料上离子注入硼再做外延,要求外延生长一层厚度控制在几微米内,电阻率10~20欧姆厘米的P型硅。该方案优势是可借助新傲成熟的外延技术和无锡中微晶圆深沟槽隔离技术(Trench)。目前该方案正在实现中。
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